多用途计量工具NANOMEFOS是一台独特的计量设备，可以高精度测量非球面和自由曲面光学元件。这种快速、非接触式测量设备，可测量凸面到凹面、平面到自由曲面以及直径达600mm的光学元件,且测量不确定度RMS低于15nm。这台设备的工作方式类似一个巨大的CD播放器：待测元件放置在气浮主轴上，特制的光学探头在位移系统的驱动下在元件表面移动。

     NANOMEFOS是一台非接触式高精度测量非球面和自由曲面的独特的计量设备。光学探头具有很高的扫描速度（最高达1.5m/s）和5mm的测量范围，能够捕获非旋转对称面的表面特征。分离式碳化硅计量框架结构和干涉测量系统提供了稳定的参考。

规格
− 可测量面形：平面，球面，非球面，离轴、非球面，柱面，自由曲面
− 测量范围：Ø 600 x 150 mm
− 测量元件重量：75Kg
− 测量不确定度： < 15 nm RMS
− 测量重复性精度：< 2nm RMS
− 典型测量时间： < 15 分钟
− 最大斜率：0° 到 90°（柱面到凹面）

NANOMEFOS优势
− 无需调整元件倾斜和偏心
− 绝对形状测量（包括曲率半径）

− 适合折射和反射元件
− 无背面像和鬼像
− 可测量形状、波纹度（中等空间波长）和粗糙度