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光学面形检测
Nanomefos非接触式光学面形扫描系统
可实现对600mm以内的平面、球面、非球面、自由曲面、离轴镜、柱面镜等面形进行高精度测量,RMS重复精度1nm以下; 可提供2米...
APRE激光干涉仪
2K╳2K像素分辨率,极速相移动态及载波动态技术,超低的回程误差和平顶波前技术; 可选配SCI技术测试薄片元件的正反表面波形和厚度、平行度等信...