类型	菲索型干涉仪
测试能力	测量面形和透射波前
测试技术	抗振相移干涉  抗振载波干涉
对准系统	2点法对准（十字窗口），校准视场2°
输出光直径	4 inch (102 mm)
光学镜头直径	4.25 in (108 mm)
激光光源	稳定 633 nm 氦氖激光  ~1mW 激光强度, 可达更高
激光频率稳定性	<0.0001nm
相干长度	>100 m
偏振	圆偏振
相机分辨率	2044 X 2044
最短曝光时间	9 us
数位	12 bits
图像分辨率	100 μm 全视场 (检测器极限)
条纹分辨率	680 载波条纹，1022相移条纹
图像失真	<0.1% 全聚焦范围
焦距	±2 米
电脑及软件	高性能PC, 64位Windows操作系统，REVEALTM软件
安装方式	水平 或垂直
附件	兼容业内标准4英寸镜头